等離子體發射光譜儀具有分析精準的特點，具備更高的分辨能力；防溢出背照式百萬像素CCD檢測器，紫外響應高，無紫外熒光膜，使用壽命長，多種背景校正技術可供選擇，全固定無運動部件的光學系統，穩定的質量流量氬氣集成控制系統，可視化的安全聯鎖和運行監控，采用可拆卸炬管，內置自動化的炬管準直、光源優化功能。采用層次化的軟件界面，操作直觀、便捷，可滿足不同層次客戶的使用需求。
　　儀器出現以下問題時該如何解決：
　　等離子體溫度受到影響，可從這幾個方面排查。
　　載氣的壓力：激發溫度隨載氣壓力的降低而增加；
　　載氣流量：流量增大，中心部位溫度下降；
　　第三元素的影響：引入低電離電位的釋放劑的等離子體，電子溫度將增加；
　　頻率和輸入功率：激發溫度隨功率增大而增高，近似線性關系，在其他條件相同時，增加頻率，放電溫度降低。
　　等離子體發射光譜儀有時候會出現真空泵不自動啟動故障。這個時候需要先看泵油溫度是否較低，重新斷電后，手動啟動真空泵，有時需停頓一下，再試。有時候也會出現真空值下降快的情況，我們需要真空值曲線是否平緩，否則，有漏氣的地方，檢查真空室真空蓋密封性，更換密封圈或對角緊固螺絲。
　　光譜儀出現排氣不暢故障，氬氣排氣管路堵塞，火花室下部的彎頭內有異物，氬氣過濾器入口端有異物。一般這種情況需要更換排氣管，并定期對排氣管路進行吹掃。
　　一般情況下光譜儀光強值下降，原因一般多為透鏡臟，或者入射狹縫污染和光纖老化，這個時候需要我們擦拭透鏡，清理狹縫，更換光纖。
　　光譜儀P、S穩定性不好，檢查真空泵是否被誤關掉，真空光路鏡片是否需要清洗，一個維護不好的光路會導致錯誤的重現性和分析結果。需要檢查真空泵及清洗鏡片。
　　儀器使用時間久了，激發臺會因點打的太多了，出現放電漏氣現象，導致光強上不去，需要經常清理激發臺板及火花室。