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合作伙伴：半導體企業

儀器類型：電感耦合等離子體質譜儀

品牌：安捷倫

型號：ICP-MS-MS 8900

2024年8月30日，國內知名半導體企業購買我司的安捷倫電感耦合等離子體質譜儀 ICP-MS-MS 8900， 用于水基體，有機試劑，高硅，高氟樣品超痕量元素分析。工程師使用經驗證過的氫氣原位質量法，氧氣質量轉移，氨氦，高氦等多種模式解決客戶的應用問題。

在反應池中，氫氣 (H2 ) 和氧氣 (O2 )常被用作反應氣。

分析物或干擾物在反應池中與某一反應氣發生反應，生成一個新質量數的產物離子，通過這種質量轉移或者原位質量的方法，避開原質量數的干擾。針對ICP-MS開發的碰撞/反應池，能夠通過化學反應去除特定干擾，解決分析中的難題。

氧氣質量轉移‌是一個涉及氧氣從氣相傳遞到液相的過程，這個過程既是一個傳遞過程，也是一個物質擴散過程。氧氣質量轉移的效率受到多種因素的影響，包括污水水質、水溫、氧的分壓以及曝氣裝置的安裝深度等。

Agilent 8900 ICP-MS/MS 比單四極桿 ICP-MS 提供了更高的靈敏度、更低的背景和更出色的干擾物質控制。這使得監測更多數量的低濃度污染物元素成為可能，包括 Si、P、S 和 Cl 等難以分析的元素，并支持半導體行業推動更小尺寸器件架構、更高產量和更高器件性能的發展。

應用場景分析

1.水基體樣品分析: 在半導體制造過程中，水基體樣品如超純水(UPW)的質量對產品質量有著至關重要的影響。ICP-MS-MS 8900 能夠準確測量UPW中的超痕量鉀、鈣、鐵、鎳等元素，確保水質符合生產要求。

2.有機試劑樣品分析: 半導體制造過程中常常需要使用各種有機試劑。這些試劑中可能含有微量的金屬元素或其他雜質，對產品質量產生不利影響。ICP-MS-MS 8900能夠檢測這些有機試劑中的超痕量元素，確保試劑的純度。

3.高硅樣品分析: 半導體材料如硅片在制造過程中需要嚴格控制其表面的金屬元素含量。ICP-MS-MS 8900的高靈敏度和低檢測限使得其能夠準確測量硅片表面的超痕量元素，如磷、鈦等。同時，其強大的干擾控制能力能夠消除硅基質對分析結果的干擾。

4.高氟樣品分析: 在某些特定的半導體制造過程中，可能需要使用含氟的化學品。ICP-MS-MS 8900能夠檢測這些高氟樣品中的超痕量元素，確保產品的質量和性能不受影響。

綜合應用分析，我們給安捷倫電感耦合等離子體質譜儀ICP-MS-MS8900 配備了氫氟酸進樣能力(通過耐腐蝕部件實現)、有機進樣系統和水基體進樣系統，以滿足半導體行業及其他領域對復雜樣品中超痕量元素分析的需求。

可見譜標科技不僅僅只銷售儀器，整個檢測技術，方案應用，方法開發等全方位服務一 一提供。