1974年

產出第一臺ICP商品機

上世紀60年代末期，采用電感耦合等離子體源的原子光譜技術成為當時應用于微量元素分析的一項非常有前途的技術。1970年人們注意到，使用當時的光譜儀分析巖石樣品中的微量元素遇到高濃度基體（高于30%）時，基體譜線會對微量元素產生明顯的干擾。對富含譜線的基體元素Ca、Al、Fe等來說，產生的干擾尤為嚴重。這種潛在的制約因素存在促使人們尋求其它的多元素微量分析方法，直至1974年才由美國Applied Research Laboratories生產出第一臺商品機，該儀器用于溶液分析。

1974年

直流等離子體技術突破

經過嘗試，認為常壓電流（DC）和射頻（RF）等離子體在應用中顯出這種作用，特別是ICP作為發射源使等離子體中分析物有效電離能夠滿足新一代儀器源的要求。同時也注意到惰性氣體在大氣壓下的電等離子體可能是一個很好的離子源。因此人們采用四極桿質量分析器和通道式離子檢測器開展可行性研究。Gray在1974年完成了直流等離子體技術突破。

1975-1980年

ICP與MS相結合

一些項目研究也隨之在美國和加拿大兩國開展，美國研究人員主要采用ICP,而加拿大研究人員采用微波誘導等離子體MIP（1981），后來也改用ICP（1983）。在此期間美、英建立了密切的項目合作關系，共同解決ICP與MS結合時的一系列關鍵技術問題：

1，由于ICP高溫射頻場帶來的問題；

2，高溫等離子體與質譜的接口問題；

3，如何降低等離子體對地電位問題等。

1981年

獲得第一張ICP譜圖

而這些問題的集中于必須提供一個樣品入射孔，同時入射孔也要足夠大，以避免在它前面形成一個冷界面層。這就要求孔徑不小于0.2mm，還要改進設備提取氣體能力。1981年Gray在Surrey實驗室設計完成了ICP源上所預期性能的設備，獲得了第一張ICP譜圖（Gray，1982；Date和Gray，1983a；Gray和Date，1983；Gray，1986a）。

1984年

實驗室首次安裝ICP-MS

1983年英國VG公司與加拿大Sciex公司率先推出世界上第一臺ICP-MS。1984年在用戶實驗室才首次安裝ICP-MS。在此以后ICP-MS在化學分析中廣泛應用開來。

安捷倫ICP-MS 7500/7700

1987年第一代產品，第一臺計算機控制安捷倫ICP-MS儀器，型號PMS-100，

現在安捷倫7500系列有：2000年第六代 安捷倫7500A,7500I,7500S

                                      2001年第七代，安捷倫7500C

                                      2002年第八代，安捷倫7500CS

                                      2003年第九代，安捷倫7500CE

                                      2007年第十代，安捷倫7500CX

                                      2009 安捷倫 ICP-MS 7700上市。