二手ICP-MS在潔凈室內使用，其前級真空泵最好放置在潔凈室外部，只將儀器主機放置在潔凈室即可。

用于冷卻儀器的空氣從外流到內，并從上部的排風管排出，使灰塵粒子被控制在最小值。潔凈室的潔凈度常用空氣只微粒子來表示。1000級表示直徑＞0.5μm的粒子≤1000個/立方英尺。一般大氣中為100萬級。為保證10～1級的潔凈度，潔凈室內部的空氣流通盡量采用高架回風，是室內的空氣可以向下流通。配置樣品和標準溶液時需在100級以下的通風櫥內進行，一般此類通風櫥會在頂部再增加一級過濾FFU，以此來保證作業過程中的潔凈度。

  二手ICP-MS系統接口（樣品）

為避免污染，二手ICP-MS必須特別注意樣品引入系統的選擇和清潔。用于檢測元素樣品的樣品引入系統、接口于其他樣品檢測不同。

* 霧化器，蠕動泵管 有時會造成極微量污染，進行超微量檢測是適用于自吸進樣。自吸進樣時，霧化器使用同心霧化器、交叉霧化器或微流霧化器。

* 接口 ，一般二手ICP-MS儀器有兩種接口（Ni、Pt），都可以用于半導體樣品檢測。使用Ni錐接口時，Ni的背景檢出限為50ppt左右。而Pt錐接口可以對很多酸有耐受性，適合超純酸的檢測。

某些元素具有記憶效應，這些元素的氧化物易留在接口上，如Ca、Al、Si、U、Th和稀土元素等。這些記憶效應可以通過在2%的硝酸中浸泡去除。但是，有時需要沾有氧化鋁懸濁液的棉簽進行擦拭去除。

二手ICP-MS接口的清洗（樣品）

如果長時間在空氣中放置可能會有污染，所以使用前用超純水充分清洗。另外，清洗時必須戴手套。